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发布时间： 2022 - 09 - 12

FSP1000系列数字式微压差传感器是采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感技术和芯片封装技术制作的。FSP1000的在低压差下有较高的灵敏度，具有唯独和海拔高度补偿，响应时间快，同时提供线性化数字（I2C）和模拟信号，可用于HVAC（暖通空调系统）和CPAP系统（持续正压通气系统）。

FSP2000系列数字式微压差传感器

发布时间： 2022 - 09 - 12

FSP2000系列数字式双压力传感器是采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感技术和芯片封装技术制作的，提供了一种独特的压差和压力（表压）组合输出形式。FSP2000的集成度高，空间小，可用于CPAP系统（持续正压通气系统）的测量和控制。CPAP系统目前的发展趋势是小型化，FSP2000中的压差传感器可用于流量测量，而压力（表压）传感器可为CPAP系统提供必要的压力反馈。

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气体质量流量传感器

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MFC1000系列质量流量控制器

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MFC1000系列质量流量控制器
LF6000系列微液体流量计

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LF6000系列微液体流量计采用公司自主研制的MEMS热飞行时间（TTOF）传感和封装技术制造。产品量程比宽，精度高，可靠性好。产品外壳材料为化学性能稳定的PEEK，独特的MEMS传感器芯片结构和特殊的封装技术使得传感器最大工作压力可达到1.0MPa。应用领域包括各类微液体流量计量、制药过程控制、化学计量、基因测序、科研实验和医疗自动化等。
FSP1000系列数字式微压差传感器

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FSP1000系列数字式微压差传感器是采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感技术和芯片封装技术制作的。FSP1000的在低压差下有较高的灵敏度，具有唯独和海拔高度补偿，响应时间快，同时提供线性化数字（I2C）和模拟信号，可用于HVAC（暖通空调系统）和CPAP系统（持续正压通气系统）。
FSP2000系列数字式微压差传感器

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FSP2000系列数字式双压力传感器是采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感技术和芯片封装技术制作的，提供了一种独特的压差和压力（表压）组合输出形式。FSP2000的集成度高，空间小，可用于CPAP系统（持续正压通气系统）的测量和控制。CPAP系统目前的发展趋势是小型化，FSP2000中的压差传感器可用于流量测量，而压力（表压）传感器可为CPAP系统提供必要的压力反馈。

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