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MFC2000系列质量流量控制器
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MFC2000系列质量流量控制器采用公司专有的MEMS Thermal-D操作TM热量传感技术与智能控制电子设备，这种独特的质量流量传感技术消除了一些扩散率相似的气体的气体敏感性，并允许在编程后进行气体识别。本产品可用于动态范围为100:1的过程控制，其控制范围为0.1至1MPa（15至150 PSI）的压力和0至50℃的补偿温度。该产品的设计便于更换机械连接器，标准连接器为NPT1/8'至1/2'，其他定制连接器可根据要求提供。
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FS1015CL系列气体质量流量传感器
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发布时间： 2022 - 09 - 12
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FS4308系列气体质量流量传感器
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发布时间： 2023 - 06 - 28
FS4308系列气体质量流量传感器能直接测量气体质量流量，不需要旁路设置。该传感器工作压力提高到0.8MPa，测量范围涵盖（0~2）SLPM到（0~50）SLPM。本产品可用于医疗设备中的麻醉机、内窥镜等；工业应用中的焊接机器、激光设备、气体混合控制等；环境监测中的大气采样器等。
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气体质量流量计

MF-HD系列气体质量流量计
产品类别： 气体质量流量计

MF-HD系列中低压质量流量计是专为各类公用事业气体计量而设计。该计量采用Siargo专有的MEMS（微机电系统）热（D-thermal）传感技术设计和制造。该产品为具有大动态范围的气体提供质量流量计量，同时具有低压降。该系列流量计采用电池供电，减少了工程成本，可测量天然气、液化石油气、压缩空气、氮气、氧气、二氧化碳等，且精度可达到1.5 %，最大工作压力300 kPa 。
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MF-HD系列气体质量流量计
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    MF5000系列气体质量流量计 是矽翔微机电系统有限公司结合微机电系统（MEMS）流量传感芯片技术和计算机自适应技术历经多年，开发出的智能化全电子式气体质量流量仪表，主要技术性能处于国际领先水平，具有高灵敏度、高精度、大量程比等特点；针对工业环境，融合了多种抗干扰措施的电磁兼容设计；且具有多种信号输出，能通过通讯接口实现网络管理功能；本产品在性能、安装和维护方面也具有其独特的优越性，可广泛应用于石油、燃气、化工、冶炼、能源等各个领域。
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    MF5900系列气体质量流量计是根据我公司自主研发的MEMS流量传感芯片开发的一款流量范围大、带显示、带按键，能够实现网络化的计量仪表。该仪表可用于多种气体流量监测、测量和控制等应用场合。
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