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FS5001L系列气体质量流量传感器是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司自主研发的微机电系统(MEMS)流量传感器芯片来制作,适用于各类清洁、干燥气体。传感器采用标贴式安装,使安装尺寸更加紧凑,可以很容易的实现在小空间内的多传感器集成。
LF2000系列液体流量传感器采用矽翔微机电系统有限公司的MEMS流量传感技术和传感器封装技术,集合了热飞行时间(TOF)和量热传感原理而设计。传感器外壳材料为化学性能稳定的聚碳酸酯,独特的MEMS传感器芯片结构和特殊的分装技术使得传感器最大工作压力可达到0.5MPa。
MF4000系列气体质量流量计是专为管径为3mm~8mm的气体管路中的低速气流的流量计量而设计。螺纹与各种快速接口可轻松实现机械接口转换,满足用户多种气体管路的要求,该产品可用于过程控制、大气采样等各种工业应用。
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矽翔微机电系统有限公司(矽翔公司,Siargo Ltd. )
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