气体质量流量计 - 微机电 - 矽翔微机电系统上海有限公司成都分公司

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发布时间： 2022 - 09 - 12

FS4000系列气体质量流量传感器是专为普通气体流量检测开发的产品。该传感器能直接测量气体质量流量，不需要旁路设置，压损小。该传感器既可用于净化行业中空气或氮气的流量监控，也可用于环境检测行业（如大气采样器）和分析仪器（如色谱分析仪）等。FS4003，管道内径为3mm，测量范围最大到5SLPM；适用于粒子计数器和各类分析仪器。FS4008，管道内径为8mm，测量范围最大到50SLPM；可用于气体测量和控制设备、麻醉机、环境检测仪、大气采样器和各类分析仪器。

FS6122系列医用CPAP传感器模块

发布时间： 2022 - 09 - 12

FS6122系列医用CPAP传感模块是专为家用呼吸机的CPAP系统(持续正压通气系统)而设计流量传感器。传感器集成了MEMS质量流量芯片和MEMS压力芯片，从而为CPAP系统提供了必要的输出信号。传感器的封装非常小，采用入气口与出气口不同的ISO22mm接口设计，在提供高精度和快速响应的质量流量和压力信号的同时，自身的压损和死腔也非常小。

MF4700系列气体质量流量计

发布时间： 2022 - 09 - 12

MF4700系列气体质量流量计是均采用本公司自主研发的微机电系统(MEMS)流量传感芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。MF4700具有清晰直观的LED显示屏，可显示实时流量与累计总量。MF4700直接输出质量流量，不需要温度压力补偿。MF4700具备按键功能，允许用户在现场调整或查询流量计的参数，并具有RS485网络通讯接口以便于用户远程操控及系统集成。机械尺寸和流量范围可根据客户需求进行定制。

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气体质量流量计

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MF4000系列气体质量流量计

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MF4000系列气体质量流量计是专为管径为3mm~8mm的气体管路中的低速气流的流量计量而设计。螺纹与各种快速接口可轻松实现机械接口转换，满足用户多种气体管路的要求，该产品可用于过程控制、大气采样等各种工业应用。
MF4600系列气体质量流量计

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MF4600系列气体质量流量计是均采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。MF4600具有类似于转子流量计的气路结构，但该流量计具有清晰直观的LED显示屏，可显示实时流量与累计总量。MF4600直接输出质量流量，不需要温度压力补偿。MF4600具备按键功能，允许用户在现场调整或查询流量计的参数，并具有RS485网络通讯接口以便于用户远程操控及系统集成。机械尺寸和流量范围可根据客户需求进行定制。
MF4700系列气体质量流量计

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MF4700系列气体质量流量计是均采用本公司自主研发的微机电系统(MEMS)流量传感芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。MF4700具有清晰直观的LED显示屏，可显示实时流量与累计总量。MF4700直接输出质量流量，不需要温度压力补偿。MF4700具备按键功能，允许用户在现场调整或查询流量计的参数，并具有RS485网络通讯接口以便于用户远程操控及系统集成。机械尺寸和流量范围可根据客户需求进行定制。
MF5000系列气体质量流量计

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MF5000系列气体质量流量计是矽翔微机电系统有限公司结合微机电系统（MEMS）流量传感芯片技术和计算机自适应技术历经多年，开发出的智能化全电子式气体质量流量仪表，主要技术性能处于国际领先水平，具有高灵敏度、高精度、大量程比等特点；针对工业环境，融合了多种抗干扰措施的电磁兼容设计；且具有多种信号输出，能通过通讯接口实现网络管理功能；本产品在性能、安装和维护方面也具有其独特的优越性，可广泛应用于石油、燃气、化工、冶炼、能源等各个领域。
MF5100系列气体质量流量计

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MF5100系列气体质量流量计具有气体识别功能，可使用电池供电长时间工作，可显示瞬时和累计流量，并能提供脉冲信号。在外供电状态下，还可以输出RS485/4~20mA/0~5VDC等信号。
MF5200系列氧气质量流量计

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MF5200系列氧气质量流量计是专门为医院中心供氧系统中楼层与科室氧气计量而设计的一款流量计。该流量计具有可分离的显示器，具有RS485网络通讯接口以及用户自定报警功能能更好的实现网络传输和流量监控。MF5212和MF5219可分别测量0~300L/min（标况）和0~800L/min（标况）气体流量。用户可根据需求选择带压力显示型和不带压力显示型。
MF5600系列气体质量流量计

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MF5600系列分体显示式气体质量流量计是专门为需要显示器和表体分离的应用需求而设计的。例如医院供氧系统、小型空分系统。该流量计的标准工业用户界面（RS485/4~20mA）及用户自定报警功能能更好的实现异地或网络监控。现有的产品MF5612和MF5619可分别测量0~300SLPM和0~800SLPM气体流量。
MF5700系列便携式气体质量流量计

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MF5700系列便携式气体质量流量计是根据我公司自主研发的MEMS流量传感芯片开发的一款应用范围宽、低功耗、便携式、带显示、能够实现网络化的计量仪表。该仪表适用于各种工业、商业应用。
MF5806-G系列MEMS智能气瓶流量计

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MF5806-G系列MEMS智能气瓶流量计基于专有的MEMS传感器技术和物联网技术，为气瓶的灌充、存储、运输和使用中的智能管理提供了一个完整的解决方案。MF5806-G采用矽翔微机电研发的MEMS流量传感芯片制作，可测量气瓶的瞬时流量、累计用量、用气时间以及监测气瓶余量，并可通过蓝牙无线信号传输到手机等终端设备。该设备采用电池或外部电源均可，安装灵活；按键功能，允许用户在现场调整或查询参数；密码管理，保障数据安全；还具有流量过高/过低及气瓶余量过低报警功能。
MF5900系列气体质量流量计

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MF5900系列气体质量流量计是根据我公司自主研发的MEMS流量传感芯片开发的一款流量范围大、带显示、带按键，能够实现网络化的计量仪表。该仪表可用于多种气体流量监测、测量和控制等应用场合。
MF-FD系列管道式气体质量流量计

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MF-FD系列管道式质量流量计是专为工业气体进行各种管理和控制而设计。该系列仪表可提供直观的质量流量信息，友好的用户界面设计（RS485/4~20mA/脉冲等）可轻松的进行数据处理。该类产品可适用于管径25～100mm的管道，且精度可达到±(1.5+0.5FS)%，工作环境温度为-20～+60oC，最大工作压力1.5 MPa，同时，我公司的封装技术确保了流量计的卫生指标，可应用于饮料食品行业的气体测量，如：CO2 。除此之外，该产品还可广泛应用于其他行业的气体测控，如：冶金行业的特殊气体监控，化工行业的氢气流量监控，生产过程中的氧气、氮气、氦气、氩气、压缩空气等的监控。
MFI系列插入式气体质量流量计

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MFI系列插入式质量流量计是专为大管线的气体监测控制而设计，进行在线安装将不再困难，同时更加经济。插入式质量流量计配有自密式阀门，从而为客户提供了一个在最轻微干扰的情况下解决气体测量的有效方案。建议使用在管径80~300mm的管线上。所有插入式质量流量计的精度为±(1.5+0.5FS)%，并可依据客户需求达到更高标准。该产品的工作环境温度为-20~+60oC，工作压力为1.5 MPa。该产品还可应用于生产过程中的气体测控，如：氧、氮、氦、氩、压缩空气等气体的监测和控制，除此之外，还可广泛应用于其他领域。

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