矽翔微机电系统上海有限公司成都分公司

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MFC2000系列质量流量控制器

MFC2000系列质量流量控制器

发布时间： 2022 - 09 - 12

MFC2000系列质量流量控制器采用公司专有的MEMS Thermal-D操作TM热量传感技术与智能控制电子设备，这种独特的质量流量传感技术消除了一些扩散率相似的气体的气体敏感性，并允许在编程后进行气体识别。本产品可用于动态范围为100:1的过程控制，其控制范围为0.1至1MPa（15至150 PSI）的压力和0至50℃的补偿温度。该产品的设计便于更换机械连接器，标准连接器为NPT1/8'至1/2'，其他定制连接器可根据要求提供。

FS1015CL系列气体质量流量传感器

FS1015CL系列气体质量流量传感器

发布时间： 2022 - 09 - 12

FS1015CL系列气体质量流量传感器是专门为各类医学用气体的测量和过程控制而设计的。产品采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁气体。成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量计。测量范围最大到150SLPM，ISO 15mm连接方式适用于呼吸机、麻醉机等多种医疗设备。

FS5001L系列气体流量传感器

FS5001L系列气体流量传感器

发布时间： 2022 - 09 - 12

FS5001L系列气体质量流量传感器是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感器芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。传感器采用标贴式安装，使安装尺寸更加紧凑，可以很容易的实现在小空间内的多传感器集成。

气体质量流量计

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MF5900系列气体质量流量计

产品类别：气体质量流量计

MF5900系列气体质量流量计是根据我公司自主研发的MEMS流量传感芯片开发的一款流量范围大、带显示、

带按键，能够实现网络化的计量仪表。该仪表可用于多种气体流量监测、测量和控制等应用场合。

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产品详情

MF5900系列气体质量流量计

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MF3000系列气体质量流量计

发布时间: 2024 - 04 - 10

MF3000系列气体质量流量计直接测量气体质量流量。该流量计工作压力提高到0.8MPa，测量范围涵盖（0~2）SLPM到（0~1500）SLPM。本产品可用于工业应用中的焊接机器、激光设备、气体混合控制等。

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MF6600系列气体质量流量计

发布时间: 2024 - 04 - 10

MF6600系列气体质量流量计应目前市场需求而开发，采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。长久以来，转子流量计大量应用于低成本的气体过程控制，但其采用光电数字转换的方式已不能满足对于精度、成本和数字化技术的发展要求。MF6600在机械安装尺寸上兼容转子流量计，实现高精度质量流量测控和多种数字远传及电池供电选项。

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MF4000系列气体质量流量计

发布时间: 2023 - 06 - 29

MF4000系列气体质量流量计能直接测量气体质量流量，适用于各类清洁、干燥气体。MF4000工作压力提高到0.8MPa，测量范围涵盖0~50SLPM。MF4000提供多种信号输出，通过RS323、RS485或I2C数字通讯接口可实现远程数据采集与设置。MF4000具备LED数字显示和按键功能，允许用户在现场调整或查询流量计的参数。

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MF4600系列气体质量流量计

发布时间: 2023 - 06 - 29

MF4600系列气体质量流量计是均采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。MF4600具有类似于转子流量计的气路结构，但该流量计具有清晰直观的LED显示屏，可显示实时流量与累计总量。MF4600直接输出质量流量，不需要温度压力补偿。MF4600具备按键功能，允许用户在现场调整或查询流量计的参数，并具有RS485网络通讯接口以便于用户远程操控及系统集成。机械尺寸和流量范围可根据客户需求进行定制。

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MF4700系列气体质量流量计

发布时间: 2022 - 09 - 12

MF4700系列气体质量流量计均采用本公司自主研发的微机电系统(MEMS)流量传感芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。MF4700具有清晰直观的LED显示屏，可显示实时流量与累计总量。MF4700直接输出质量流量，不需要温度压力补偿。MF4700具备按键功能，允许用户在现场调整或查询流量计的参数，并具有RS485网络通讯接口以便于用户远程操控及系统集成。机械尺寸和流量范围可根据客户需求进行定制。

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MF5000系列气体质量流量计

发布时间: 2022 - 09 - 12

MF5000系列气体质量流量计是矽翔微机电系统有限公司结合微机电系统（MEMS）流量传感芯片技术和计算机自适应技术历经多年，开发出的智能化全电子式气体质量流量仪表，主要技术性能处于国际领先水平，具有高灵敏度、高精度、大量程比等特点；针对工业环境，融合了多种抗干扰措施的电磁兼容设计；且具有多种信号输出，能通过通讯接口实现网络管理功能；本产品在性能、安装和维护方面也具有其独特的优越性，可广泛应用于石油、燃气、化工、冶炼、能源等各个领域。

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MF5100系列气体质量流量计

发布时间: 2022 - 09 - 12

MF5100系列气体质量流量计具有气体识别功能，可使用电池供电长时间工作，可显示瞬时和累计流量，并能提供脉冲信号。在外供电状态下，还可以输出RS485/4~20mA/0~5VDC等信号。

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MF5200系列氧气质量流量计

发布时间: 2022 - 09 - 12

MF5200系列氧气质量流量计是专门为医院中心供氧系统中楼层与科室氧气计量而设计的一款流量计。该流量计具有可分离的显示器，具有RS485网络通讯接口以及用户自定报警功能能更好的实现网络传输和流量监控。MF5212和MF5219可分别测量0~400L/min（标况）和0~1000L/min（标况）气体流量。用户可根据需求选择带压力显示型和不带压力显示型。

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MF5600系列分体显示式气体质量流量计

发布时间: 2022 - 09 - 12

MF5600系列分体显示式气体质量流量计是专门为需要显示器和表体分离的应用需求而设计的。例如医院供氧系统、小型空分系统。该流量计的标准工业用户界面（RS485/4~20mA）及用户自定报警功能能更好的实现异地或网络监控。现有的产品MF5612和MF5619可分别测量0~300SLPM和0~800SLPM气体流量。

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MF5700系列便携式气体质量流量计

发布时间: 2022 - 09 - 12

MF5700系列便携式气体质量流量计是根据我公司自主研发的MEMS流量传感芯片开发的一款应用范围宽、低功耗、便携式、带显示、能够实现网络化的计量仪表。该仪表适用于各种工业、商业应用。

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MF5806系列数字式氧气流量计

发布时间: 2023 - 06 - 29

MF5806系列数字式氧气流量计采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于医用中心供氧系统、供急救给氧和缺氧吸入用。LCD数字显示提供瞬时流量、累计流量和用氧时间，直观简便。可以帮助医生更准确的判断病人的吸氧量。自动历史数据存储、用氧量数据统计。其精度高、量程范围大。提供数字信号输出，配有RS485通讯模块，可以实现网络化系统管理，与医院网络系统连接实现吸氧自动结算。按键功能，允许用户在现场调整或查询氧气流量计的参数。密码管理，保障数据安全。采用电池或外部电源均可。还具有吸氧过量报警功能。

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MF5806-G系列MEMS智能气瓶流量计

发布时间: 2022 - 09 - 12

MF5806-G系列MEMS智能气瓶流量计基于专有的MEMS传感器技术和物联网技术，为气瓶的灌充、存储、运输和使用中的智能管理提供了一个完整的解决方案。MF5806-G采用矽翔微机电研发的MEMS流量传感芯片制作，可测量气瓶的瞬时流量、累计用量、用气时间以及监测气瓶余量，并可通过蓝牙或LoRa无线信号传输到手机等终端设备。该设备采用电池或外部电源均可，安装灵活；按键功能，允许用户在现场调整或查询参数；密码管理，保障数据安全；还具有流量过高/过低及气瓶余量过低报警功能。

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MF5900系列气体质量流量计

发布时间: 2022 - 09 - 12

MF5900系列气体质量流量计是根据我公司自主研发的MEMS流量传感芯片开发的一款流量范围大、带显示、带按键，能够实现网络化的计量仪表。该仪表可用于多种气体流量监测、测量和控制等应用场合。

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MF6600系列气体质量流量计

发布时间: 2024 - 04 - 10

MF6600系列气体质量流量计应目前市场需求而开发，采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。长久以来，转子流量计大量应用于低成本的气体过程控制，但其采用光电数字转换的方式已不能满足对于精度、成本和数字化技术的发展要求。MF6600在机械安装尺寸上兼容转子流量计，实现高精度质量流量测控和多种数字远传及电池供电选项。

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MF-FD系列管道式气体质量流量计

发布时间: 2022 - 09 - 12

MF-FD系列管道式质量流量计是专为工业气体进行各种管理和控制而设计。该系列仪表可提供直观的质量流量信息，友好的用户界面设计（RS485/4~20mA/脉冲等）可轻松的进行数据处理。该类产品可适用于管径25～100mm的管道，且精度可达到±(1.5+0.5FS)%，工作环境温度为-20～+60oC，最大工作压力1.5 MPa，同时，我公司的封装技术确保了流量计的卫生指标，可应用于饮料食品行业的气体测量，如：CO2 。除此之外，该产品还可广泛应用于其他行业的气体测控，如：冶金行业的特殊气体监控，化工行业的氢气流量监控，生产过程中的氧气、氮气、氦气、氩气、压缩空气等的监控。

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MFI系列插入式气体质量流量计

发布时间: 2022 - 09 - 12

MFI系列插入式质量流量计是专为大管线的气体监测控制而设计，进行在线安装将不再困难，同时更加经济。插入式质量流量计配有自密式阀门，从而为客户提供了一个在最轻微干扰的情况下解决气体测量的有效方案。建议使用在管径80~300mm的管线上。所有插入式质量流量计的精度为±(1.5+0.5FS)%，并可依据客户需求达到更高标准。该产品的工作环境温度为-20~+60oC，工作压力为1.5 MPa。该产品还可应用于生产过程中的气体测控，如：氧、氮、氦、氩、压缩空气等气体的监测和控制，除此之外，还可广泛应用于其他领域。

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MF-GD系列中低压气体质量流量计

发布时间: 2022 - 09 - 12

MF-GD系列中低压质量流量计是专为各类中低压气体的测量而设计。该系列流量计采用电池供电，减少了工程成本。可适用于管径25～80mm的管道，可测量压缩空气、氮气、氧气、二氧化碳等，且精度可达到±(1.5 +0.5FS)%，最大工作压力0.2 MPa 。

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MF-HD系列气体质量流量计

发布时间: 2023 - 06 - 29

MF-HD系列中低压质量流量计是专为各类公用事业气体计量而设计。该计量采用Siargo专有的MEMS（微机电系统）热（D-thermal）传感技术设计和制造。该产品为具有大动态范围的气体提供质量流量计量，同时具有低压降。该系列流量计采用电池供电，减少了工程成本，可测量天然气、液化石油气、压缩空气、氮气、氧气、二氧化碳等，且精度可达到1.5 %，最大工作压力300 kPa 。

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MF2000系列气体质量流量计

发布时间: 2022 - 09 - 12

MF2000系列气体质量流量计是专为各类低成本工业气体进行各种管理和控制而设计。该系列仪表可提供直观的质量流量信息，友好的用户界面设计（RS485/4~20mA）可轻松的进行数据处理。该类产品可适用于管径25~50mm的管道，精度为±(1.5+0.5FS)%，同时有50:1的量程比。

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HMF2000系列手持式气体质量流量

发布时间: 2022 - 09 - 12

HMF2000系列手持式气体质量流量计是专门为仪器仪表及在线检测大量程多种气体精密测定和检测设计的。产品采用了MEMS流量芯片测量专利技术，具有超大测量量程和极低流速测量的能力，从而可用于特别是类似于色谱仪、大气采样等仪器仪表及气体在线应用，以保证定期检查和系统的正常运行。

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