微液体流量计 - 矽翔微机电系统上海有限公司成都分公司

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发布时间： 2022 - 09 - 12

FS6122系列医用CPAP传感模块是专为家用呼吸机的CPAP系统（持续正压通气系统）而设计流量传感器。传感器集成了MEMS质量流量芯片和MEMS压力芯片，从而为CPAP系统提供了必要的输出信号。传感器的封装非常小，采用入气口与出气口不同的ISO 22mm接口设计，在提供高精度和快速响应的质量流量和压力信号的同时，自身的压损和死腔也非常小。

MFC2000系列质量流量控制器

发布时间： 2022 - 09 - 12

MFC2000系列质量流量控制器采用公司专有的MEMS Thermal-D操作TM热量传感技术与智能控制电子设备，这种独特的质量流量传感技术消除了一些扩散率相似的气体的气体敏感性，并允许在编程后进行气体识别。本产品可用于动态范围为100:1的过程控制，其控制范围为0.1至1MPa（15至150 PSI）的压力和0至50℃的补偿温度。该产品的设计便于更换机械连接器，标准连接器为NPT1/8'至1/2'，其他定制连接器可根据要求提供。

MF4700系列气体质量流量计

发布时间： 2022 - 09 - 12

MF4700系列气体质量流量计均采用本公司自主研发的微机电系统(MEMS)流量传感芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。MF4700具有清晰直观的LED显示屏，可显示实时流量与累计总量。MF4700直接输出质量流量，不需要温度压力补偿。MF4700具备按键功能，允许用户在现场调整或查询流量计的参数，并具有RS485网络通讯接口以便于用户远程操控及系统集成。机械尺寸和流量范围可根据客户需求进行定制。

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LF3000系列微液体流量计

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LF3000系列微液体流量计采用公司自主研制的MEMS热飞行时间（TTOF）传感和封装技术制造。产品量程比宽，精度高，可靠性好。产品外壳材料为化学性能稳定的PEEK，独特的MEMS传感器芯片结构和特殊的封装技术使得传感器最大工作压力可达到1.0MPa。应用领域包括各类微液体流量计量、分析仪器、制药过程控制、精密化学仪器、科研实验和医疗自动化等，还可以根据请求进行完全定制。

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