微压差传感器 - 矽翔微机电系统有限公司

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MF3000系列气体质量流量计

发布时间： 2024 - 04 - 10

MF3000系列气体质量流量计直接测量气体质量流量。该流量计工作压力提高到0.8MPa，测量范围涵盖（0~2）SLPM到（0~1500）SLPM。本产品可用于工业应用中的焊接机器、激光设备、气体混合控制等。

MFC1700系列质量流量控制器

发布时间： 2026 - 07 - 16

MFC1700系列质量流量控制器采用公司专有的MEMS Thermal-D热量传感技术与智能控制电子设备，这种独特的质量流量传感技术消除了一些扩散率相似的气体的气体敏感性，并允许在编程后进行气体识别。本产品可用于动态范围为100:1的过程控制，其控制范围为-80kPa~0.2MPa或0.1~0.8MPa的压力和0~55℃的补偿温度，并带有拨码开关方便快速设置。该产品的设计便于更换机械连接器，标准连接器为双卡套、G螺纹或快拧接头，其他定制连接器可根据要求提供。

VM2100系列MEMS真空计

发布时间： 2026 - 11 - 06

VM2100真空计是面向真空设备厂商的新一代紧凑型高性能固态真空计，采用先进硅微加工与美国专利热传导真空传感技术（美国专利号：11,428,596），集成传感元件、封装及信号处理电路，坚固轻巧、响应快、功耗低、长期稳定性好；测量范围为常压至10-5Torr粗真空，测量精准、重复性佳，数字输出、低热漂移，便于集成、维护简单，可替代传统皮拉尼真空计，自带OLED界面，支持表头按键参数设置，适用于真空工艺设备、分析仪器、检漏及便携真空装置。

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FSP1000系列数字式微压差传感器

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FSP1000系列数字式微压差传感器是采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感技术和芯片封装技术制作的。FSP1000的在低压差下有较高的灵敏度，具有唯独和海拔高度补偿，响应时间快，同时提供线性化数字（I2C）和模拟信号，可用于HVAC（暖通空调系统）和CPAP系统（持续正压通气系统）。
FSP2000系列数字式微压差传感器

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FSP2000系列数字式双压力传感器是采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感技术和芯片封装技术制作的，提供了一种独特的压差和压力（表压）组合输出形式。FSP2000的集成度高，空间小，可用于CPAP系统（持续正压通气系统）的测量和控制。CPAP系统目前的发展趋势是小型化，FSP2000中的压差传感器可用于流量测量，而压力（表压）传感器可为CPAP系统提供必要的压力反馈。

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