气体质量流量传感器 - 矽翔微机电系统有限公司

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MF3000系列气体质量流量计

发布时间： 2024 - 04 - 10

MF3000系列气体质量流量计直接测量气体质量流量。该流量计工作压力提高到0.8MPa，测量范围涵盖（0~2）SLPM到（0~1500）SLPM。本产品可用于工业应用中的焊接机器、激光设备、气体混合控制等。

MFC1700系列质量流量控制器

发布时间： 2026 - 07 - 16

MFC1700系列质量流量控制器采用公司专有的MEMS Thermal-D热量传感技术与智能控制电子设备，这种独特的质量流量传感技术消除了一些扩散率相似的气体的气体敏感性，并允许在编程后进行气体识别。本产品可用于动态范围为100:1的过程控制，其控制范围为-80kPa~0.2MPa或0.1~0.8MPa的压力和0~55℃的补偿温度，并带有拨码开关方便快速设置。该产品的设计便于更换机械连接器，标准连接器为双卡套、G螺纹或快拧接头，其他定制连接器可根据要求提供。

VM2100系列MEMS真空计

发布时间： 2026 - 11 - 06

VM2100真空计是面向真空设备厂商的新一代紧凑型高性能固态真空计，采用先进硅微加工与美国专利热传导真空传感技术（美国专利号：11,428,596），集成传感元件、封装及信号处理电路，坚固轻巧、响应快、功耗低、长期稳定性好；测量范围为常压至10-5Torr粗真空，测量精准、重复性佳，数字输出、低热漂移，便于集成、维护简单，可替代传统皮拉尼真空计，自带OLED界面，支持表头按键参数设置，适用于真空工艺设备、分析仪器、检漏及便携真空装置。

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气体质量流量传感器

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FS1015E系列气体质量流量传感器

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FS1015E系列气体质量流量传感器是专门为各类医学用气体的测量和过程控制而设计的。产品采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁气体。成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量计。测量范围最大到150SLPM，ISO 15mm连接方式适用于呼吸机、麻醉机等多种医疗设备。
FS1100系列气体质量流量传感器

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FS1100系列气体质量流量传感器是专门为各类医用呼吸机气体测量和过程控制而设计的。产品采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于空气、氧气或空氧混合气的测量。成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量计，测量范围最大可到250SLPM。
FS4001E系列气体质量流量传感器

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FS4001E系列气体质量流量传感器是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。独特的封装技术使之在相同的管径下可测量不同范围的流量，成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量传感器并配以多种信号输出，通过通讯接口可实现对传感器的灵活配置与参数查询。
FS4308系列气体质量流量传感器

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FS4308系列气体质量流量传感器能直接测量气体质量流量，不需要旁路设置。该传感器工作压力提高到0.8MPa，测量范围涵盖（0~2）SLPM到（0~50）SLPM。本产品可用于医疗设备中的麻醉机、内窥镜等；工业应用中的焊接机器、激光设备、气体混合控制等；环境监测中的大气采样器等。
FS5001E系列气体流量传感器

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FS5001E系列气体质量流量传感器是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感器芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。传感器采用标贴式安装，使安装尺寸更加紧凑，可以很容易的实现在小空间内的多传感器集成。
FS6122系列医用CPAP传感器模块

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FS6122系列医用CPAP传感模块是专为家用呼吸机的CPAP系统（持续正压通气系统）而设计流量传感器。传感器集成了MEMS质量流量芯片和MEMS压力芯片，从而为CPAP系统提供了必要的输出信号。传感器的封装非常小，采用入气口与出气口不同的ISO 22mm接口设计，在提供高精度和快速响应的质量流量和压力信号的同时，自身的压损和死腔也非常小。
FS7002系列气体质量流量传感器

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FS7002系列质量流量/防堵塞传感器是采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类一般用途的清洁、干燥气体。独特的封装技术使之在相同的管径下可测量不同范围的流量，大批量生产以确保高可靠性，高性能和低成本。该传感器是专为快速测量流速变化而设计，适用于多种设备，如LCD投影仪的散热系统、空气清新机、各种仪器、通风管道或风扇马达等，可及时反馈散热系统过滤器的运行情况并防止因为堵塞而引起的异常情况。
FS8000系列气体质量流量传感器

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FS8000系列微机电气体质量流量传感器是专门为各类工业过程控制而设计的。产品采用螺纹接口，易于安装，可用于固晶机等多种工业设备。
AM1000系列MEMS风速传感器

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AM1000系列MEMS风速传感器是采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，能适用于HVAC系统、风口风速测量、通风控制、风洞等场所。该传感器集成了风速传感器、湿度传感器和温度传感器，精度为±5.0%FS以内，建议使用在DN150mm以上的管道中。也可选配我司的手持式数据处理模块，能更方便的显示风速，并能记录最大最小值、计算平均值等，从而更广泛的用于环境检测、气象、消防及野外作业场所等。

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