MFC5100M系列质量流量控制器采用公司专有的MEMS Thermal-D热量传感技术与智能控制电路，这种独特的质量流量传感技术消除了一些扩散率相似的气体的气体敏感性。本产品可用于动态范围为100:1的过程控制，其控制范围为0.1~0.8MPa（15至120PSI）的压力和0~55℃的补偿温度。该产品配备有TFT触摸屏，使用户能够直接执行功能设置。同时该产品的设计便于更换机械连接器，标准连接器可选双卡套、VCR或快拧接头，其他定制连接器可根据要求提供。