使用说明书 - 矽翔微机电系统有限公司

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发布时间： 2023 - 06 - 29

MF4000系列气体质量流量计能直接测量气体质量流量，适用于各类清洁、干燥气体。MF4000工作压力提高到0.8MPa，测量范围涵盖0~50SLPM。MF4000提供多种信号输出，通过RS323、RS485或I2C数字通讯接口可实现远程数据采集与设置。MF4000具备LED数字显示和按键功能，允许用户在现场调整或查询流量计的参数。

MF4600系列气体质量流量计

发布时间： 2023 - 06 - 29

MF4600系列气体质量流量计是均采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。MF4600具有类似于转子流量计的气路结构，但该流量计具有清晰直观的LED显示屏，可显示实时流量与累计总量。MF4600直接输出质量流量，不需要温度压力补偿。MF4600具备按键功能，允许用户在现场调整或查询流量计的参数，并具有RS485网络通讯接口以便于用户远程操控及系统集成。机械尺寸和流量范围可根据客户需求进行定制。

MF4700系列气体质量流量计

发布时间： 2022 - 09 - 12

MF4700系列气体质量流量计均采用本公司自主研发的微机电系统(MEMS)流量传感芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。MF4700具有清晰直观的LED显示屏，可显示实时流量与累计总量。MF4700直接输出质量流量，不需要温度压力补偿。MF4700具备按键功能，允许用户在现场调整或查询流量计的参数，并具有RS485网络通讯接口以便于用户远程操控及系统集成。机械尺寸和流量范围可根据客户需求进行定制。

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VM1000系列手持式真空计

VM1000系列手持式真空计是采用公司自主研制的MEMS真空传感芯片，便携数显设计，广泛用于真空泵检修、制冷维保、真空腔体检漏、包装真空检测、实验室设备调试等场景。

2026 - 11 - 06

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VM2300系列MEMS真空计

VM2300真空计是面向真空设备厂商的新一代紧凑型高性能固态真空计，采用先进硅微加工与美国专利热传导真空传感技术（美国专利号：11,428.596），集成传感元件、封装及信号处理电路，坚固轻巧、响应快、功耗低、长期稳定性优异；测量范围为常压至1.0x10-3Torr粗真空，测量精准、重复性好，数字输出、低热漂移，易于集成、简化系统设计，是传统皮拉尼真空计可靠节能的替代方案，适用于真空工艺设备、分析仪器、检漏系统及便携真空装置。

2026 - 11 - 06

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