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发布时间： 2022 - 09 - 12

FS1015CL系列气体质量流量传感器是专门为各类医学用气体的测量和过程控制而设计的。产品采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁气体。成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量计。测量范围最大到150SLPM，ISO 15mm连接方式适用于呼吸机、麻醉机等多种医疗设备。

FS1100系列气体质量流量传感器

发布时间： 2023 - 06 - 28

FS1100系列气体质量流量传感器是专门为各类医用呼吸机气体测量和过程控制而设计的。产品采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于空气、氧气或空氧混合气的测量。成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量计，测量范围最大可到250SLPM。

FS4001系列气体质量流量传感器

发布时间： 2022 - 09 - 12

FS4001系列气体质量流量传感器是专门为各类小流量气体的测量和过程控制而设计的。这一系列传感器均采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。独特的封装技术使之在相同的管径下可测量不同范围的流量，成本低、易安装、不需要温度压力补偿，可替代容积式或压差式的传统流量传感器并配以多种信号输出，通过通讯接口可实现对传感器的灵活配置与参数查询。

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气体质量流量传感器

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MF4000系列气体质量流量计

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MF4000系列气体质量流量计能直接测量气体质量流量，适用于各类清洁、干燥气体。MF4000工作压力提高到0.8MPa，测量范围涵盖0~50SLPM。MF4000提供多种信号输出，通过RS323、RS485或I2C数字通讯接口可实现远程数据采集与设置。MF4000具备LED数字显示和按键功能，允许用户在现场调整或查询流量计的参数。
MF4600系列气体质量流量计

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MF4600系列气体质量流量计是均采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。MF4600具有类似于转子流量计的气路结构，但该流量计具有清晰直观的LED显示屏，可显示实时流量与累计总量。MF4600直接输出质量流量，不需要温度压力补偿。MF4600具备按键功能，允许用户在现场调整或查询流量计的参数，并具有RS485网络通讯接口以便于用户远程操控及系统集成。机械尺寸和流量范围可根据客户需求进行定制。
MF4700系列气体质量流量计

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MF4700系列气体质量流量计均采用本公司自主研发的微机电系统(MEMS)流量传感芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。MF4700具有清晰直观的LED显示屏，可显示实时流量与累计总量。MF4700直接输出质量流量，不需要温度压力补偿。MF4700具备按键功能，允许用户在现场调整或查询流量计的参数，并具有RS485网络通讯接口以便于用户远程操控及系统集成。机械尺寸和流量范围可根据客户需求进行定制。
MF5000系列气体质量流量计

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MF5000系列气体质量流量计是矽翔微机电系统有限公司结合微机电系统（MEMS）流量传感芯片技术和计算机自适应技术历经多年，开发出的智能化全电子式气体质量流量仪表，主要技术性能处于国际领先水平，具有高灵敏度、高精度、大量程比等特点；针对工业环境，融合了多种抗干扰措施的电磁兼容设计；且具有多种信号输出，能通过通讯接口实现网络管理功能；本产品在性能、安装和维护方面也具有其独特的优越性，可广泛应用于石油、燃气、化工、冶炼、能源等各个领域。
MF5100系列气体质量流量计

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MF5100系列气体质量流量计具有气体识别功能，可使用电池供电长时间工作，可显示瞬时和累计流量，并能提供脉冲信号。在外供电状态下，还可以输出RS485/4~20mA/0~5VDC等信号。
MF5200系列氧气质量流量计

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MF5200系列氧气质量流量计是专门为医院中心供氧系统中楼层与科室氧气计量而设计的一款流量计。该流量计具有可分离的显示器，具有RS485网络通讯接口以及用户自定报警功能能更好的实现网络传输和流量监控。MF5212和MF5219可分别测量0~400L/min（标况）和0~1000L/min（标况）气体流量。用户可根据需求选择带压力显示型和不带压力显示型。
MF5600系列分体显示式气体质量流量计

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MF5600系列分体显示式气体质量流量计是专门为需要显示器和表体分离的应用需求而设计的。例如医院供氧系统、小型空分系统。该流量计的标准工业用户界面（RS485/4~20mA）及用户自定报警功能能更好的实现异地或网络监控。现有的产品MF5612和MF5619可分别测量0~300SLPM和0~800SLPM气体流量。
MF5700系列便携式气体质量流量计

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MF5700系列便携式气体质量流量计是根据我公司自主研发的MEMS流量传感芯片开发的一款应用范围宽、低功耗、便携式、带显示、能够实现网络化的计量仪表。该仪表适用于各种工业、商业应用。
MF5806系列数字式氧气流量计

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MF5806系列数字式氧气流量计采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于医用中心供氧系统、供急救给氧和缺氧吸入用。LCD数字显示提供瞬时流量、累计流量和用氧时间，直观简便。可以帮助医生更准确的判断病人的吸氧量。自动历史数据存储、用氧量数据统计。其精度高、量程范围大。提供数字信号输出，配有RS485通讯模块，可以实现网络化系统管理，与医院网络系统连接实现吸氧自动结算。按键功能，允许用户在现场调整或查询氧气流量计的参数。密码管理，保障数据安全。采用电池或外部电源均可。还具有吸氧过量报警功能。
MF5806-G系列MEMS智能气瓶流量计

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MF5806-G系列MEMS智能气瓶流量计基于专有的MEMS传感器技术和物联网技术，为气瓶的灌充、存储、运输和使用中的智能管理提供了一个完整的解决方案。MF5806-G采用矽翔微机电研发的MEMS流量传感芯片制作，可测量气瓶的瞬时流量、累计用量、用气时间以及监测气瓶余量，并可通过蓝牙或LoRa无线信号传输到手机等终端设备。该设备采用电池或外部电源均可，安装灵活；按键功能，允许用户在现场调整或查询参数；密码管理，保障数据安全；还具有流量过高/过低及气瓶余量过低报警功能。
MF5900系列气体质量流量计

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MF5900系列气体质量流量计是根据我公司自主研发的MEMS流量传感芯片开发的一款流量范围大、带显示、带按键，能够实现网络化的计量仪表。该仪表可用于多种气体流量监测、测量和控制等应用场合。
MF6600系列气体质量流量计

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MF6600系列气体质量流量计应目前市场需求而开发，采用本公司自主研发的微机电系统（MEMS）流量传感芯片来制作，适用于各类清洁、干燥气体。长久以来，转子流量计大量应用于低成本的气体过程控制，但其采用光电数字转换的方式已不能满足对于精度、成本和数字化技术的发展要求。MF6600在机械安装尺寸上兼容转子流量计，实现高精度质量流量测控和多种数字远传及电池供电选项。

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